ミラプログループでは、長年のクリーン技術や装置設計・製造技術に加え、生産管理手法を活用できる医療機器分野に展開を始めています。医療分野は、人命にかかわる法令を遵守するとともに、安全・安心な製品を社会に供給することが求められます。
医療やバイオ分野での熟練技術者の微細加工技術をミクロレベルの生産設備で実現する装置を提供しています。
また、バイオケミカル向けなどの受託製造も承っています。

主な分野

医療・バイオ・ケミカル分野

主な技術

画像判別による生産情報管理および生産
複数工程の生産同期化などの生産ライン最適化

ものづくりの装置は数千点から数万点に及ぶ部品で作られています。設計段階では、部品を組み合わせて確実に作動させるすり合わせ技術が結果を左右します。さらに装置製造では組み付けの精度を確保して最大限の装置性能の発揮が求められます。ミラプログループでは装置設計から製造までの一貫生産で、ユーザーニーズに応えています。

ミラプログループでは真空コンポーネント単独ではなく、納入先である装置メーカーとの連携によりODM（Original Design Manufacturing：委託先による装置設計・製造）も事業として展開しています。
市場動向の変化が激しく装置開発からエンドユーザーへの提供までの期間が短くなっていることから、装置メーカーが技術マネジメントを行い、専門技術領域をサプライヤ側が行うことで、より早く確実な実現ができます。ミラプログループでは装置の機構設計、電気設計、ソフトウェア設計にかかわる技術力があり、これらを融合させた装置提供を行っています。

主な実績

真空プロセス関連装置（半導体・液晶向け）
プロセス用電源
冷却水循環装置

ミラプログループでは次世代の事業として、既存事業の高度化や融合した事業展開を進めています。科学技術分野で蓄積した超高真空技術は医療分野での検査・治療機器に応用されます。また、真空コンポーネントや装置設計・製造技術と親和性の高い極低温向け技術により超電導フライホイール蓄電システムの開発を行っています。

最先端超高真空機器

加速器による科学分野の探求は、多くの日本人研究者のノーベル物理学賞授与に至る成果をあげています。ミラプログループの真空技術はこの分野にも貢献しています。加速器で培われた技術が展開され、大型低温重力波望遠鏡KAGRAとして提供されています。
さらには、新しい製品開発に向けた物性分析装置としての放射光施設、体内を把握するためのMRI 技術、がん治療のための放射線検査・治療装置へ応用されています。ミラプログループの装置設計・製造技術と真空コンポーネント技術の融合により、多方面にわたる社会生活の基盤形成に貢献しています。

チラーは、水(液)を循環させて目的の試料や装置を冷却または加熱し、温度制御する装置の総称です。
おもに冷却することを目的とすることが多いことから【Chiller(chill＝冷やす)】と呼ばれています。
今日、半導体デバイスは自動車、産業機械、家電製品など多様な環境で使われています。
これらの半導体デバイスを製造・検査するために、温度制御の幅は年々広くなってきています。
半導体製造のプロセス温度は製品開発時に決定され、その温度を安定的に提供する必要があります。
また、複数のプロセス温度を素早く切り替えられる機能は生産性に直結します。
エムエーティーのチラーは温度安定性とスピードを両立させつつ、無駄のない設計によって省スペース化を実現しています。
また、冷却装置本体から排出される廃熱のエネルギーを有効に再利用することによって、消費電力を抑えて効率を上げた省エネで高効率の装置を開発しております。
エムエーティーでは、市場やお客様のあらゆるニーズにお応えするため、極低温（-70℃）から極高温度（+145℃）まで幅広い温度制御が可能で、かつ低温、高温切替え機能を搭載したハイスペックチラーをご用意しております。
半導体以外の用途や特殊仕様の冷却装置でも、ユーザー様のご要望に合わせて対応いたします。
さらに、チラーで培った技術を応用して半導体製造のビルドインタイプ、純水精製装置なども手掛けております。

開発実績

温度切り替えの安定性と短時間化
低フットプリント
温度制御の高精度対応
省エネ対応（冷却装置からの排熱エネルギーを利用）
環境に優しい（F ガス規制対応）

主な提供分野

成膜やエッチングといった半導体製造装置メーカー
医療機器メーカー